NST 瑞士CSM纳米划痕仪

瑞士CSM纳米划痕仪主要用于界定膜基结合强度与薄膜抗划痕强度，适用的薄膜厚度一般低于800纳米。

瑞士CSM纳米划痕仪(10uN - 1N)
 

　　可以测试薄膜和基底的临界附着力，划痕深度、划痕宽度、凸起高度以及材料的粘弹性恢复等力学性能。可以进行微拉伸实验。可实时记录摩擦力及摩擦系数的变化，以及用于纳米磨损测试。
 

　　瑞士CSM的纳米划痕仪主要用于界定膜基结合强度与薄膜抗划痕强度，适用的薄膜厚度一般低于800纳米。纳米划痕仪可以用于多种薄膜材料的检测分析，例如单层或多层PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性涂层等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物、以及有机材料等。
 

　　瑞士CSM纳米划痕仪技术参数：
 

　　划痕测试单元：
 

　　划痕正向力载荷 10uN-1N
 

　　摩擦力可大至 1N(或200mN)
 

　　摩擦力分辨率 6uN(或300nN)
 

　　划痕深度 200 um
 

　　划痕长度 120mm
 

　　划痕速度 0.4-600mm/min，连续可调
 

　　高质量金相显微镜系统 ：
 

　　配有高分辨率的彩色CCD和与之匹配的图形采集系统
 

　　配有5X，20X、和100倍的物镜镜头，屏幕上放大倍率4000倍
 

　　在不拆卸、更换镜头的情况下，通过转塔可以在不同倍率镜头间切换使用
 

　　采用LED光源系统
 

　　软件控制光源系统的亮度和聚焦
 

　　点击鼠标即可实时存取试样表面的光学图像
 

　　全自动连续景深成像(Multifocus)
 

　　全景成像模式(Panorama模式，对划痕)
 

　　双显示器，一个用于测试模块的软件控制，一个用于光学图像采集、观察
 

　　配有成像分析软件：具有长度标尺，可以测试或显示光学图像中任意两点坐标，水平距离、垂直距离、直线距离
 

　　XYZ三方向全自动试样台(以CPX纳米力学平台为例)：
 

　　X方向移动范围： 120mm
 

　　Y方向移动范围： 70mm
 

　　有效工作面积： 70mmX20mm
 

　　定位分辨率：  0.1um
 

　　定位精度：  1um
 

　　Z方向自动移动范围： 30mm
 

　　分辨率：10nm
 

　　XYZ三方向移动控制：鼠标控制、键盘控制及操纵杆控制