主要用于纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试,测试结果通过压入载荷大小与压入深度的曲线计算得出,无需通过显微镜观察压痕面积
载荷范围 | 400mN(800mN,1600mN可选) |
0.03μN | |
深度范围 | 250μm |
深度分辨率 | 0.003nm |
热飘逸 | <0.05nm/s |
zui大摩擦力 | 400mN |
Sinus 模式分析(DMA) | 20HZ |
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