Grating X射线光栅及LIGA微结构

公司介绍：

德国Microworks 公司成立于 2007年, 是卡尔斯鲁厄理工学院（KIT）微技术研究所 (IMT) 衍生的子公司。通过使用X 射线和激光LIGA技术，Microworks为客户提供高精度微结构的产品。在微纳米技术领域，Microworks代表着高精度。在一个晶片内或者从一个晶片到另一个晶片，其高纵横比和精度可以远低于1µm。其产品涵盖相衬成像光栅、微齿轮、双曲型电极、精密筛、近红外滤波器（选频滤波器）、微弹簧，RF等。

产品介绍：

X射线光栅的制作流程

吸收光栅

（a）准备光栅胶层

（b）掩膜光刻胶层在X射线下曝光

（c）形成精细的光刻胶结构

（d）电镀金形成X射线光栅结构