WBQXCJ-4 微波能化学气相沉积系统

 微波材料学工作站--微波能化学气相沉积系统

主要用途：
主要为应用在半导体, 大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料，石墨烯、纳米材料、碳纤维、碳化硅、
镀膜等新材料新工艺领域

产品特点：
★操作便捷：气路连接方式采用了KF快速连接法兰结构，使取放物料过程简化，只需一支卡箍便可完成气路连接，
   方便操作，取消了复杂的法兰安装过程，减少了安装造成的损坏
★多功能：3种加热方式可选可变：纯微波、传统电加热、混合加热；适应包括金属与合金在内非易燃的任何样品的热处理
★开发的微波场传感器，精准控温
★安全：采用防止泄漏的四级联锁的保护屏蔽措施安全可靠的微波屏蔽腔体设计，多重防泄漏保护
*标配装有专业微波抑制器
*内置微波泄漏传感器
★节能：使用寿命长：磁控管微波加热，避免和解决了传统的加热丝、硅碳棒、硅钼棒等加热元件容易损坏的问题，
    也避免了因加热元件
损坏而造成的时间、实验进度、维修费用等各种损失
★采用无级可调、高稳定度长寿命、连续波微波源，确保设备能够连续稳定长时间运行
★嵌入式微机一体化温度控制系统；实现稳定性控温
★无须烘炉过程：炉腔整体自身发热，加热均匀
★微波能量即开即有,无热惯性,易于控制温度
★炉体配有自动冷却风扇
★保护管采用耐高温合金管，气管采用卡套或VCR接口，安装简便
★配有万向轮调节底脚，方便移动和固定

选配功能：
1.多温区独立加热模块：型号后面加Ｄ　　　
◆多个不同温区独立加热、独立控制，（标配 2 个温区）
◆两个以上温区可额外选配
◆通常用于高温下气相或挥发分参与的材料合成
◆加热区、恒温区长度均可调。
2.可根据用户需求定制立式或其他尺寸

技术参数：

型号/model	WBQXCJ-4
可加热材料	非易燃易爆的任何材料
微波频率	2.45GHZ±50MHz
加热方式	纯微波加热、传统电加热、混合加热
大功率/ KW(连续、可调)	4
样品腔尺寸/mm	标配Φ45mm；长度 1200mm。可根据用户需求定制
样品腔(材质)	石英管	刚玉管
控温范围/℃	室温-1200℃	室温-1500℃
温度测试元件	微波场传感器
温度分辨率/℃	0.1
控温精度/℃	1200℃以下±1；1200℃以上±2℃
温度偏差/℃
温度稳定波动度/℃
冷却方式	标配风冷（可选配水冷）
恒温区长度/mm	标配100    可根据用户需求定制
升温速率(标配)	0～200℃/min 任意设定，可编程、分段加热
温度控制方式	10段可设工艺参数，7寸触摸屏操作，带数据存储功能；提供手动、自动、恒温控制模式，曲线实时显示
控制气体	控制气体：H2、CH4、Ar、N 2 、其它气体可选
流量控制	标配 2 套质量流量控制器：七星华创（真空保护阀门后置，匹配真空模式）；精度：0.8%
大耐压	1MPa；控制响应时间：10ms
真空系统真空泵	RVP2008；压力范围：10 -3 Torr~760 Torr 大抽速：8.5 m 3/h
真空计	数显真空计：1atm-10 -1 Pa
标配	质量流量自动控制系统配备控制计算机及控制软件，可以内置实时显示和保存生长参数
气路其他配置	气柜、气路及阀门等
端口	不锈钢 KF50 法兰接口
电源电压（V）	220
微波泄漏量/mW/㎝2	≤0.4
外型尺寸（长´宽´高）/mm	1500×750×1550