Q150V ES Plus高真空超精细镀膜仪

Q150V Plus高真空超精细镀膜仪

Q150V Plus是一款高真空超精细镀膜仪，其极限真空度高达1x10^-6mbar；采用宽量程潘宁规和皮拉尼规，可溅射超细的易氧化金属膜。更低的背压去除了腔室中的氧氮及水汽，避免在镀膜过程中发生化学反应和产生杂质或缺陷；低散射可得到均匀致密的无定形碳膜。它可获得更细和更薄的膜，适用于超高分辨率成像应用（放大倍数高于200,000倍）。

仪器特点：

•   电容式触摸屏，灵敏度高，更易触控使用

•   用户界面软件全面更新，使用现代智能技术界面

•   全面的文字帮助页面

•   USB接口可轻松进行软件更新和数据备份

•   log文件格式为.csv，内含日期、时间和工作参数，可导出至Excel或类似软件中分析

•   16GB的闪存可储存超过1000条镀膜方案

•   双核ARM处理器，可实现快速响应的显示

•   可互换的插入头；可拆卸腔室，设有防爆罩；多种样品台可选

•   大而多色的LED指示灯，实现可视化状态指示；程序完成后具有音频声音提示

Q150V Plus具有三种型号：

1）Q150V S Plus全自动溅射镀膜仪，可溅射易氧化金属及贵金属，实现超精细镀膜。可溅射的靶材包括铬、铱和所有贵金属。

2）Q150V E Plus全自动蒸发镀碳仪（标配碳棒头，可选碳绳头），适合TEM应用。用于TEM栅网镀碳。可选金属蒸发/光阑清洁头。

3）Q150V ES Plus集成了离子溅射和热蒸镀两种镀膜方式的系统。镀膜头可在数秒内更换；可选金属蒸发/光阑清洁头。

*应用：

•   超高分辨率放大SEM应用

•   TEM载网镀碳

•   FIB中镀保护性铂层

•   腐蚀、摩擦和磨损保护层的研发；医疗设备上的保护层

•   BSE成像

•   EDX、WDS、EBSD分析

•   蒸镀碳覆型膜

•   纳米技术，如：沸石、聚合物纳米刷

Q150V Plus是英国Quorum出品的认可的Q系列镀膜仪的一部分，数千家客户使用此类镀膜仪。Q系列旨在为SEM、TEM和薄膜应用提供高质量的镀膜解决方案，Q系列功能多样、价格合理且易于使用。这些产品科研用途。

对于SEM应用的机械泵抽真空的喷金喷碳仪，请参见SC7620和Q150R Plus。对于FE-SEM应用所需的超细颗粒镀膜，建议采用高真空镀膜仪，除了Q150V Plus，也请参见Q150T Plus或Q150GB；如需大腔室版本的镀膜系统，请参见：Q300T T Plus、Q300T D Plus、Q300T ES Plus和K975X/K975S。