Q300T ES Plus大腔室高真空离子溅射和热蒸发一体化镀膜仪

Q300T ES Plus大腔室高真空离子溅射和热蒸发一体化镀膜仪

Q300T ES Plus是集成了离子溅射和热蒸镀两种镀膜方式的镀膜系统。作为成功的Q系列溅射/碳镀膜仪家族的一员，Q300T ES Plus是一个大腔室涡轮分子泵抽真空的镀膜系统，非常适合在大直径样品或多个较小试样上进行金属蒸发镀膜，Q300T ES Plus还配备了可互换的溅射头和碳蒸发头。

Q300T ES Plus在大的工作腔室内组合了离子溅射、金属蒸发和碳蒸镀系统。镀膜头可以在数秒钟内更换，智能逻辑系统自动识别哪个镀膜头已就位，并显示相应的操作设置。涡轮分子泵真空系统，电容触摸屏控制，高分辨率离子溅射镀膜、高真空碳棒镀膜/金属蒸发镀膜；设有LED状态指示灯。标配快速释放离子溅射镀膜头和直径57mm x 0.1mm的铬靶、快速释放金属蒸发镀膜头，镀膜头可互换。标配直径50毫米的晶圆样品台。配有用于高真空测量的全量程真空规组件。

有关采用三靶镀制大面积相同材料的膜层，请参阅Q300T T Plus。其它大腔室镀膜仪，请参阅K975X/K975S以及Q300T D Plus。

仪器特点：

•   电容式触摸屏，灵敏度高，更易触控使用

•   用户界面软件全面更新，使用现代智能手机技术界面

•   全面的文字帮助页面

•   USB接口可轻松进行软件更新，也可将配方文件备份/复制到USB存贮器

•   log文件格式为.csv，内含日期、时间和工作参数，可导出至Excel或类似软件中分析

•   允许多用户输入和储存镀膜方案，并可根据近的使用情况来排列每个用户的配方

•   双核ARM处理器，可实现快速响应的显示；带触摸屏按钮的全图形界面，包括近使用的1000个镀膜日志和维护到期时的提醒等功能

•   全量程真空规

•   集成的离子溅射、金属蒸发和碳蒸镀一体化系统

•   可选膜厚监控附件（FTM），可选高腔室

•   大而多色的LED指示灯，实现可视化状态指示；程序完成后具有音频声音提示

*应用：

•   在大直径样品或多个较小试样上进行金属蒸发镀膜

•   高分辨镀膜，SEM应用

•   EDX, WDS, EBSD镀碳

Q300T ES Plus是英国Quorum出品的认可的Q系列镀膜仪的一部分，数千家客户使用此类镀膜仪。Q系列旨在为SEM、TEM和薄膜应用提供高质量的镀膜解决方案，Q系列功能多样、价格合理且易于使用。这些产品科研用途。

Q Plus系列镀膜仪也有较小腔室的版本，请参阅：Q150R Plus、Q150T Plus以及Q150V Plus；SC7620和Q150GB也是可选的型号。