Ø产品简介
MiniLab125是英国MOORFIELD公司一款落地式大尺寸PVD综合镀膜系统，采用模块化设计，可在一台仪器上实现电子束蒸发镀膜，常规电阻热蒸发镀膜，低温热蒸发系统及磁控溅射镀膜,可用于镀金属膜，有机物薄膜及绝缘材料的单层或者多层功能膜与复合膜，同时该系统还可加载等离子源，刻蚀系统与退火系统，是小批量镀膜客户的理想选择。
Ø产品特性
• 落地式薄膜沉积系统，模块化设计
• 多达6个磁控溅射源，DC与RF可选，用于金属及绝缘层镀膜，溅射靶角度连续可调，可独立/依次/共同溅射
• 多达10个热蒸发源，电阻热蒸发源与低温热蒸发源可选，用于金属及有机物镀膜
• 多坩埚电子束源，用于难熔金属或者蒸汽压低的金属材料
• 标配预真空锁，实现高真空环境下的样品传递
• 大可支持11英寸样品
• 样品台：可加热（800℃），冷却，旋转，升降，偏压，行星式衬底夹具
• 可加4路反应气体，Ar，N2，O2可选配有MFC控制
• 配置高精度真空规进行压力全自动控制，真空度低至 <5 × 10-7 mbar
• 配置Inficon SQC-310膜厚测量仪用于薄膜厚度监测
• 操作简单：通过触屏或计算机实现全自动操作
• 自定义并可存储多个recipe
• 操作安全：自带各种软硬件互锁功能
• 售后维护简单
• 兼容手套箱与洁净间
• 可选配离子源：用于样品预清洗及纳米表面改性
• 可选配高温退火系统
Ø应用：
该系统用于半导体材料、OLED实验研究及有机太阳能薄膜电池实验研究。广泛应用于高校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。
