稀释气质量流量计可控制到0-10SLM；源气质量流量计可控制到0-100SCCM；2路校准口入口和1路吹扫口；1路稀释气入口，3路输出口和1路排空口
稀释气质量流量计可控制到0-10SLM；
源气质量流量计可控制到0-100SCCM；
2路校准口入口和1路吹扫口；
1路稀释气入口，3路输出口和1路排空口
稀释入口：1路标准；
源气入口：1路标准，1路吹扫；
稀释流量：0-10SLM（0-20SLM可选）；
源气流量：0-100SCCM（0-2SLM可选）；
流量精度：≤1%FS；
流量重复：≤±0.15%FS；
线 性：≤±0.5%FS；
响应时间：<1分钟；
操作：按键，键盘，串口，USB，以太网；
校准定义：20个工厂配置流路，每个流路可大20个线性点；
校准类型：稀释气，臭氧，GPT；
仪器特点：
操作简单，方便；
温度显示稳定,可靠；
压力可调,面板带压力表；
可方便地放入渗透管。
性能参数
温度控制：基于微处理器的比例温控系统；
温度传感器：RTD;
前面板安装：调压器，压力表，温控器，稀释炉入口
特氟龙炉身尺寸：内径3.09cm，长度12.7cm，
温控范围：高于环境温度2℃到65℃，
性能参数
温度控制：基于微处理器的比例温控系统；
温度传感器：RTD;
前面板安装：调压器，压力表，温控器，稀释炉入口
特氟龙炉身尺寸：内径3.09cm，长度12.7cm，
温控范围：高于环境温度2℃到65℃，
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