RT-3000 / RG-2000 日本napson高规半自动四探针薄层电阻测量仪

日本napson高规半自动四探针薄层电阻测量仪
具有拳球醉佳电阻测量范围的4探针法测量仪
测量模式可编程和圆形/方形测量兼容的绘图软件
自检功能，厚度/外围位置/温度补偿功能（用于硅）
根据电阻范围从两种类型的测试仪中选择
（RT-3000（S）：宽范围的测量范围，RT-3000（H）：高阻的测量范围）

日本napson高规半自动四探针薄层电阻测量仪

测量规格

测量目标

• 与半导体/太阳能电池相关的材料（硅，多晶硅，SiC等）
• 新材料/功能材料（碳纳米管，DLC，石墨烯，银纳米线等）
• 导电薄膜相关（金属，ITO等）
• 扩散样本
• 硅基薄膜（LTPS等），IGZO
• 硅基外延离子注入样品
• 其他（*请与我们联系）

测量尺寸

〜8英寸，或〜156x156mm 

-选项（兼容大直径尺寸：RG-3000型）：〜12英寸，〜210 x 210毫米

测量范围

①RT-3000（S）；
[电阻（比电阻）]100μ至1MΩ·cm 
[片材电阻] 1m至10MΩ/ 
sq②RT-3000（H）; 
[片材电阻] 10m至1GΩ/ sq

测量规格

测量目标

• 与半导体/太阳能电池相关的材料（硅，多晶硅，SiC等）
• 新材料/功能材料（碳纳米管，DLC，石墨烯，银纳米线等）
• 导电薄膜相关（金属，ITO等）
• 扩散样本
• 硅基薄膜（LTPS等），IGZO
• 硅基外延离子注入样品
• 其他（*请与我们联系）

测量尺寸

〜8英寸，或〜156x156mm 

-选项（兼容大直径尺寸：RG-3000型）：〜12英寸，〜210 x 210毫米

测量范围

①RT-3000（S）；
[电阻（比电阻）]100μ至1MΩ·cm 
[片材电阻] 1m至10MΩ/ 
sq②RT-3000（H）; 
[片材电阻] 10m至1GΩ/ sq

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