DE3000 美国半导体太阳能实验室DE3000 组合多功能薄膜沉积系统

德仪科技有限公司专业进口美国磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发和脉冲激光真空薄膜沉积设备，以及磁控溅射源/电源、电子束蒸发源、溅射靶材和蒸发材料等。十几年来，凭着的品质，*的技术和周到的技术服务，德仪公司的产品为中国的高校、科研院所及企业的薄膜沉积工作提供了有力的支持。

• LOAD LOCK连接磁控溅射和电子束蒸发腔体
• 前开门溅射腔体
• 多个磁控溅射源
• 前开门电子束蒸发腔体
• 多坩埚位旋转电子枪
• 冷凝泵和干泵
• zui大6”基片
• 基片旋转
• 基片偏压（可选）
• 基片加热1000度（可选）
• 多达四路工艺气体
• PID溅射压力控制
• 系统手动或自动控制
• 良好的薄膜均匀性和重复性
• 可沉积金属、半导体和绝缘材料
• 沉积多层膜及合金薄膜
•