DE350 SIO2 SPUTTER 北京高校物理电子实验室DE350 Sputter 二氧化硅溅射系统

德仪科技有限公司专业进口美国磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发和脉冲激光真空薄膜沉积设备，以及磁控溅射源/电源、电子束蒸发源、溅射靶材和蒸发材料等。十几年来，凭着的品质，*的技术和周到的技术服务，德仪公司的产品为中国的高校、科研院所及企业的薄膜沉积工作提供了有力的支持。

前开门溅射腔体
冷凝泵和干泵
1个6” 磁控溅射源
射频电源
侧面溅射
zui大6”基片
基片水冷
PID溅射压力控制
系统手动或自动控制
高速率溅射二氧化薄膜
 

                 Sputter 磁控溅射薄膜沉积系统
                  E-Beam 电子束蒸发薄膜沉积系统 
                  Thermal 热阻蒸发薄膜沉积系统
                  PLD 脉冲激光镀膜系统 
                  Sputter Sources 磁控溅射阴极
                  DC/RF Power Supply 直流/射频电源
                  E-Beam Sources 电子束蒸发源 
                  Thermal EVP Sources 热蒸发源
                  Deposition Materials 溅射靶材和蒸发镀膜材料
                  Sample Manipulator 样品台 
                  Feedthroughs 电子穿导器件
                  Vacuum Valves 真空阀门 
                  Vacuum Components 真空配件 
  
                  的品质、优质的服务是我们的宗旨！