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高真空蒸发镀膜机+

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使用领域
1、半导体:金属化
2、TFT:金属导线
3、微结构:金属化
5、设备特点
1、高配置
2、高精度
3、高品质

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1、设备名称:高真空蒸发镀膜机
2、设备品牌:昊光机电
3、配置:
3.1、真空抽气部分
     莱宝粗抽泵+CTI 10 ON BOARD 冷凝泵
3.2、真空检测
INFICON:BPG400真空规
3.3、蒸发系统控制及膜厚检测
1、蒸发控制器:运行+设定
2、触摸屏和电位器分别控制
3、电压、电流显示
4、晶控仪:控制蒸发电流大小,控制蒸发速率,显示厚度;MDC360或SYSCON 2000
3.4气体控制:2路质量流量控制器MKS1179A
4、使用领域
    1、半导体:金属化
    2、TFT:金属导线
    3、微结构:金属化
5、设备特点
    1、高配置
    2、高精度
    3、高品质


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