涡轮泵高真空度蒸发器

SPI公司(Structure Probe, Inc.)创立于1970年，创立之初以电镜分析服务为主，1975年创立耗材部门，销售电镜的试片制作工具及耗材。该公司产品包括SEM、TEM、SPM甚至Laser Microscope 的耗材，仪器部分包括镀碳镀金机、电浆表面清洁或蚀刻机及电浆镀锇机等。

涡轮泵高真空度蒸发器：

涡轮泵高真空度蒸发器，满足您的高真空度镀膜需求，从碳蒸发到金属镀膜。

从用于精密控制和可复制性的固态电子器件，到便于使用的触屏界面，Vacu Prep II是一款容易使用的仪器。内置涡轮分子泵，能够快速地达到10-7托(torr)的真空度，并有大尺寸底板，带有多个进样槽，可以容纳多种多样的固定件，适用于几乎所有应用领域。

典型应用领域：

• 电子显微镜样品制备

• 高真空度碳镀膜，用于TEM和X射线分析

• 金属化合物的电阻蒸发

• 碳支持膜

• 碳/铂复制品

• 孔眼清洗

• 石棉分析

• 失效分析

系统规格：

• 65升/分钟涡轮分子泵

• 交互式触摸屏控制板

• 气动真空阀

• 尺寸：31″宽×28″深×30″高（79 cm宽×72 cm深×77 cm高）

• 重量：250磅（114 Kg）

• zui大真空度：10-7托(torr)

系统包括：

• 12″×12″（31 cm×31 cm）钟形组件，带抬升引导件

• 蒸发电源，带关闭装置

• 碳棒蒸发组件

• 碳纤维/金属化合物蒸发组件

• 可调节的旋转/倾斜台

• 液氮存留器，带加注漏斗

• 不锈钢底板

场所要求：

• 压缩空气（用于阀门系统调节系统）：80磅/平方英寸（psig，表压）

• 压缩氮气（选配排气装置）：5-10磅/平方英寸（表压）

• 液氮（选配液氮存留器）

• 电力：110 V或 230 V, 50/60 Hz

• 采用机械泵支持涡轮泵