Hprobe应用方向
■ 磁性隧道结
■ 磁随机存取存储器
■ 集成磁传感器(Hall, GMR, TMR)
■ 智能传感器
Hprobe探针台产品特点
■ 可以用于100~300mm晶圆
■ 提供大的面内和垂直磁场
■ 磁场定向和旋转的三维控制
■ 快速扫描能力
■ 嵌入式传感器校准
■ 自动测试程序
■ MRAM和传感器参数提取软件
■ 与标准探针卡兼容
■ 快速扫场能力
Hprobe探针台技术原理
探针台采用*的三维磁场发生器，每个磁场空间轴独立驱动。利用这3个自由度，用户可以在任意空间方向应用和控制场，也可以生成旋转场。三维磁场装置配备了所有相关配件，测试程序和磁铁校准工具包。
三维磁发生器置于探针台顶部，并在晶圆上产生局部磁场。为了适应器件测试设计，探头被放置在晶圆片和发生器之间的间隙中。磁场发生器和晶圆托之间的Z方向距离一般可在500μm至5mm之间可调，取决于所使用的探针卡和探针。
Hprobe探针台基本参数
| 面内 (XY) | 垂直 (Z) | |
| 大单轴磁场 | 350 mT | 550 mT |
| 磁场均匀性@+/1mm | ± 1% | ± 1% |
| 磁场分辨率 | 0.05 mT | 0.02 mT |
| 角度分辨率 | 0,02° | - |
| 场扫描采样率 | < 50 kHz | < 50 kHz |
| R-H 回线测试时间 | < 100 ms | < 100 ms |
