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高精度亚纳米压电平移台
压电平移台是以压电陶瓷为驱动，以柔性铰链为导向，通过压电陶瓷的形变精确控制平台的移动。该平台可提供X、XY及XYZ等不同维度平台，行程大可达1500微米。采用硅高精度位移传感器闭环反馈，使平台拥有毫秒级响应速度，亚纳米级的分辨率，并且拥有非常低的底噪。被广泛应用于，超分辨显微、光镊系统、原子力显微镜、显微扫描、光路调整、纳米操控技术、CCD 图像处理、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。
昊量光电推出的压电平台按维度可以提供以下产品：
1）单轴压电平台
单轴压电平台是可以在单个维度上提供精确定位的产品，主要包含X压电平台、Z轴压电平台、物镜扫描台、一维快反镜。
①X轴压电平台
一维平台可提供不同行程、中空/非中空等不同类型的产品
型号 | AUHS1 | AUHS1H | AUC-X.100 | AULF1 | AUSLR |
产品图片 |
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行程(μm) | 10/30/50/70/100 | 30/50/70/100 | 100 | 100/200/300 | 300/500/8001500 |
分辨率(nm) | 0.01/0.03/0.05/0.07/0.1 | 0.03/0.05/0.07/0.1 | 0.1 | 0.1/0.2/0.3 | 0.3/0.5/0.8/1.5 |
重复精度（全行程）nm | 0.02/0.06/0.1/0.14/0.2 | 0.06/0.1/0.14/0.2 | 0.2 | 0.2/0.4/0.6 | 0.6/1/1.6/3 |
本底噪声nm | 0.001/0.003/0.005/0.007/0.01 | 0.003/0.005/0.007/0.01 | 0.01 | 0.01/0.02/0.03 | 0.03/0.05/0.08/0.15 |
传感器 | 硅传感器闭环反馈 | ||||
②Z轴压电平台
型号 | Z-stage | C-Z.100 | Z-insert | Z-insert-K-TYPE | Z-insert-INC | LT-Z |
产品图片 |
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行程(μm) | 5/10/25/50 | 100 | 100/200/300/500 | 100/200/300 | 100/200/300/500 | 100/200/300/500 |
分辨率(nm) | 0.005/0.01/0.025/0.05 | 0.1 | 0.1/0.2/0.3/0.5 | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3/0.5 | 0.1/0.2/0.3/0.5 |
重复精度(nm) | 0.01/0.02/0.05/0.1 | 0.2 | 0.2/0.4/0.6/1.0 | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6/1.0 | 0.2/0.4/0.6/1.0 |
本底噪声nm | 0.0005/0.001/0.0025/0.005 | 0.01 | 0.01/0.02/0.03/0.05 | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03/0.05 | 0.01/0.02/0.03/0.05 |
传感器 | 硅传感器闭环反馈 | |||||
③物镜扫描台
型号 | FOCHS.100 | FOC |
产品图片 |
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行程(μm) | 100 | 100/200/300 |
分辨率(nm) | 0.1 | 0.1/0.2/0.3 |
全行程重复精度(nm) | 0.2 | 0.2/0.4/0.6 |
本底噪声nm | 0.01 | 0.01/0.02/0.03 |
传感器 | 硅传感器闭环反馈 | |
④一维快反镜
型号 | TT1.5 |
产品图片 |
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偏转角度(mrad) | 5/10 |
分辨率(μrad) | 0.005/0.01 |
全行程重复精度（μrad） | 0.01/0.02 |
本底噪声（μrad） | 0.0005/0.001 |
传感器 | 硅传感器闭环反馈 |
2）两轴压电平台
两轴压电平台可提供两个维度的平移和偏转主要包括XY压电平台和二维快反镜
①XY压电平台
型号 | LFHS2 | LTHS2 | C2.100 | LFS2 | LT2 | BIO2 | LF2 | MWP2.800 |
产品图片 |
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行程(μm) | 30/50/75 | 30/50/75 | 100 | 100 | 100/200/300 | 100/200/300 | 100/200/300 | 800 |
分辨率(nm) | 0.03/0.05/0.075 | 0.03/0.05/0.075 | 0.1 | 0.1 | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3 | 0.8 |
重复精度（全行程）nm | 0.06/0.1/0.15 | 0.06/0.1/0.15 | 0.2 | 0.2 | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6 | 1.6 |
本底噪声nm | 0.003/0.005/0.0075 | 0.003/0.005/0.0075 | 0.01 | 0.01 | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03 | 0.08 |
传感器 | 硅传感器闭环反馈 | |||||||
②二维快反镜
型号 | TT2.5 |
产品图片 |
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偏转角度(mrad) | 5/10 |
分辨率(μrad) | 0.005/0.01 |
全行程重复精度（μrad） | 0.01/0.02 |
本底噪声（μrad） | 0.0005/0.001 |
传感器 | 硅传感器闭环反馈 |
3）三轴压电平台
产品图片 | 描述 | 行程 |
| LT3是一款三维平台，可提供100,200或300微米的行程。平台使用硅传感器厚度只有20mm，该平台很容易集成到倒置显微镜中 | X-Y-Z |
| BIO3是一款超低剖面的三维定位平台可集成在任何倒置显微镜中。载玻片可以放置在其矩形孔中 | X-Y-Z |
| LF3是紧凑型3轴压电平台，具有66mm方孔，X轴和Y轴行程范围为100μm，200μm或300μm，Z轴行程为50μm。 建议要求小尺寸和通光孔时使用。 | X-Y： Z： 50μm |
| LFS3是一款3轴纳米定位平台，X，Y行程为100μm，Z行程20μm，通光孔径40 x 40 mm。 | X-Y： 20μm |
| LFHS3是一款高速三轴纳米定位台，谐振频率高于2k，通光孔径达66x66mm，可实现高速扫描，阶跃时间可达2ms | X-Y： Z： 50μm |
| LTTHS3是一款超薄高速三维定位平台，可配合任何倒置显微镜使用，可实现高速扫描 | X-Y： Z： 50μm |
| C3.100是一款紧凑型平台，是光纤对准、双光子聚合、激光直写等应用的理想产品 | X-Y-Z |
| CUBE3是一款3轴紧凑型纳米定位平台，可沿X，Y和Z提供100或200μm的运动。其紧凑的设计使其成为光纤对准，双光子聚合，激光写入等应用的的理想工具 | X-Y-Z |
| SPM3平台是一个3轴超高速纳米定位平台，沿X和Y提供75μm的行程，两个轴上的共振频率高于2kHz。 SPM3平台的Z轴具有高达50μm的行程范围，谐振频率高达12.5kHz，当与高功率控制器一起使用时，SPM3.5的Z轴的阶跃响应时间可以小于毫秒。因此，SPM平台专为要求苛刻的计量应用而设计，例如原子力显微镜。 | X-Y： Z： 5μm 10μm 25μm 50μm |
| SPM3LR压电平台是3维定位平台，X轴和Y轴的位移为 100μm，200μm或300μm。 Z轴部分的行程可达50μm并具有高达12.5kHz的谐振频率。 SPM3LR.xxx.05的Z轴的阶跃响应时间可以小于毫秒。 因此，SPM3LR载物台设计用于要求苛刻的计量应用，例如原子力显微镜。 | X-Y： 200μm 300μm Z： 5μm 10μm 25μm 50μm |
主要特点 | 主要应用 | |
高分辨率（0.01nm） 超低底噪
| 纳米刻蚀 超分辨显微镜 原子力显微镜
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