YAMATO洁净厌氧高温气氛炉DTN430C/630C/450C/650C
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- 公司名称 浚和(上海)仪器有限公司
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- 型号
- 所在地
- 厂商性质 $CompanyTypeName
- 更新时间 2020/9/29 17:13:56
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洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。 型号 DTN430C DTN630C DTN450C DTN650C 方式 氮气置换+ 强制送风循环 性能 使用温度范围 室温+50~360℃ 室温+50~500℃ 温度调节精度 ±0.5℃(at360℃) ±1.0℃(at500℃) 温度分布精度 ±5.0℃(at360℃) ±8.0℃(at500℃) 温度到达时间 约80分钟 约110分钟 氧浓度 20ppm 以下 氧浓度到达时间 ≤ 20分(250L/min 氮气) ≤ 25分(250L/min 氮气) ≤ 20分(250L/min 氮气) ≤ 25分(250L/min 氮气) 洁净度 温度恒定时100级 构成 内装 不锈钢板 外装 冷轧钢板,表面耐药品性涂装 断热材 硅酸铝棉 加热方式 不锈钢加热管 加热功率 主加热器 6.75KW 9KW 9.5KW 14.2KW N2预热 1KW 冷却机构 不锈钢冷却水换热器 HEPA过滤器 集尘效率:0.3um粒子99.97%以上 控制器 温度控制方式 PID控制 温度控制器 液晶触摸屏+PLC 运行功能 手动定值运行、自动程序运行 程序模式 程序运行9个,每个程序可设置9步(可扩展) 附加功能 操作员等级认证 加热器回路控制 SSR驱动 传感器 K型热电偶(温度控制及过升防止器) 安全装置 门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、 风机过载检测、过电流漏电保护开关等 规格 内尺寸(宽×深×高mm) 450×450×450 660×500×660 450×450×450 660×500×660 外形尺寸(宽×深×高mm) 1090×950×1540 1300×1000×1750 1240×1010×1750 1450×1060×1960 内容积 91L 216L 91L 216L 棚板层数/层间距 12层/30mm 19层/30mm 12层/30mm 19层/30mm 排气口 40KF法兰 氮气入口 Rc1/2 冷却水入口 Rc3/4 热水出口 Rc3/4,2个 电源(50/60Hz)额定电流 3相AC380V 16A 3相AC380V 19A 3相AC380V 20A 3相AC380V 27A 重量 约900kg 约1100kg 约900kg 约1100kg 选购品 棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯(待机/ 运行/ 故障)、以太网通信功能
特点
● 工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm,主要应用于固化半导体晶圆(光刻胶PI、PBO固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。
● 采用耐热高性能高效过滤器,箱内洁净度始终保持在100级,可在洁净的环境下进行高温烘烤。
● 高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2消耗量极低。
● 通过磁密封保持高气密性,并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
● 可实现快速升温和降温,升降温速率可调节。
● 标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收。
● 液晶触摸屏操作,自动/手动两种运行模式。
安全性
● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。
规格:
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