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当前位置:仪器网 > 产品中心 > 行业专用仪器>其它行业专用仪器/仪表>其他行业专用>XM Series XM系列超高精度直线电机平台
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XM系列超精密线性电动平移台特点:● 小位移增量仅1nm ● 非接触式、直驱系统保证了高动态和可靠的超精密运动 ● 亚纳米高精度glass scale 编码器提供精确位置反馈,重复性为80nm ● 超大,无铁磁性,高效线性马达使发热量小 ● *仿蠕动交叉滚珠轴承保证了无涟波运动
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