EPMA-8050G 岛津场发射电子探针X射线微区分析仪

EPMA-8050G岛津场发射电子探针X射线微区分析仪可达到的高级别的二次电子图像分辨率3nm（加速电压30kV），分析条件下的二次电子分辨率。

      EPMA-8050G岛津场发射电子探针X射线微区分析仪性能特点：
 

　　● 出色的空间分辨率
 

　　EPMA-8050G岛津场发射电子探针X射线微区分析仪可达到的高级别的二次电子图像分辨率3nm(加速电压30kV)，分析条件下的二次电子分辨率。
 

　　(加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA)
 

　　● 大束流超高灵敏度分析
 

　　实现3.0μA(加速电压30kV)的大束流。可超高灵敏度进行超微量元素的面分析。并且全束流范围无需更换物镜光阑。
 

　　● 高性能X射线谱仪
 

　　秉承岛津电子探针颇具优势的52.5°X射线取出角。采用4英寸罗兰圆半径的分光晶体兼顾高灵敏度与高分辨率。可同时搭载5通道高性能X射线谱仪。分析性能更胜*。
 

　　● 全部分析操作简单易懂
 

　　全部操作仅靠一个鼠标就可进行的先进可操作性。追求「易懂」的人性化用户界面。搭载导航模式，自动指引直至生成报告。
 

　　◎实现微区超高灵敏度分析的先进技术
 

　　1高亮度肖特基发射体
 

　　岛津场发射电子枪采用的肖特基发射体比一般传统SEM使用的发射体针尖直径更大，输出更高。即可以保持其高亮度，还可提供高灵敏度分析*的稳定大电流。
 

　　2EPMA电子光学系统
 

　　电子光学系统，聚光透镜尽可能的接近电子枪一侧，交叉点不是靠聚光透镜形成，而是由安装在与物镜光阑相同位置上，具有独立构成与控制方式的可变光阑透镜来形成交叉点的。简单的透镜结构，既能获得大束流，同时全部电流条件下设定合适的打开角度，将电子束压缩到细。当然是不需要更换物镜光阑的。
 

　　3超高真空排气系统
 

　　电子枪室、中间室、分析腔体之间分别安装有筛孔(orifice)间隔方式的2级差动排气系统。中间室与分析腔体间的气流孔做到小，以控制流入中间室的气体，使电子枪室始终保持着超高真空，确保发射体稳定工作。
 

　　4高灵敏度X射线谱仪
 

　　岛津场发射电子探针多可同时搭载5通道兼顾高灵敏度与高分辨率的4英寸X射线谱仪。52.5°的X射线取出角在提高了X射线信号的空间分辨率的同时，又可减小样品对X射线的吸收，实现高灵敏度的分析。