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双侧滑轨式快速退火炉1200℃主要用途：高温快速热处理退火炉主要用于离子注入后快速退火、欧姆接触快速合金、硅化物合金退火、氧化物生长。
双侧滑轨式快速退火炉1200℃
主要用途：高温快速热处理退火炉主要用于离子注入后快速退火、欧姆接触快速合金、硅化物合金退火、氧化物生长。
双侧滑轨式快速退火炉1200℃
产品用途：
高温快速热处理退火炉主要用于离子注入后快速退火、欧姆接触快速合金、硅化物合金退火、氧化物生长，其它快速热处理工艺。
产品结构：
1、采用进口钨灯管为发热元件，升温速度高达200℃/s;
2、炉膛材料采用进口陶瓷纤维，内有进口氧化铝涂层，抗热冲击；
3、保护管采用高纯石英管 ，可冲入多种气体；
4、石英管两端采用不锈钢密封法兰，耐高温、耐腐蚀；
5、滑轨采用铝合金*滑道；
6、炉体采用双层空气隔热技术，配有自动冷却风扇，降低炉体外壳温度；
技术参数 | ||||
产品名称 | 单位 | 型号 | ||
JZ-6-10 | JZ-7-10 | JZ-9-10 | ||
额定功率 | kw | 9 | 9 | 9 |
额定电压 | v | 220 | 220 | 220 |
温度 | ℃ | 1000 | 1000 | 1000 |
工作温度 | ℃ | ≤950 | ≤950 | ≤950 |
相数 | 相 | 三 | 三 | 三 |
加热区 | mm | 350 | 350 | 350 |
石英管 | 直径 | Φ60 | Φ70/80 | Φ90 |
长度 | L=1300 | L=1300 | L=1300 | |
保护气体 |
| 氮气 氩气 | 氮气 氩气 | 氮气 氩气 |
气体流量 | L/min | 0~7 | 0~7 | 0~7 |
炉膛材料 |
| 进口纤维 | 进口纤维 | 进口纤维 |
升温速率 | ℃/s | 0~200 | 0~200 | 0~200 |
降温速率 | ℃/s | 1~10 | 1~10 | 1~10 |
控温精度 | ℃ | ±1 | ±1 | ±1 |
移动间距 | mm | 400 | 400 | 400 |
滑轨长度 | mm | 1350 | 1350 | 1350 |
炉体尺寸 | 长宽高 | 645*465*785 | 645*465*785 | 645*465*785 |
真空度 | 可选机械泵（6.67pa）或扩散泵（6.67*10-2） | |||
标配件 | 高温钩，高温堵头，石英舟，高温手套。 | |||
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