F型 光谱测试仪器-光束诱导电流成像检测系统

产品用途：
通过不同激光波长在半导体中的吸收距离和微区光电转换，可以表征
光电子器件及太阳能电池微区的短路电流分布、表层缺陷、反射率等特性参数，
并通过横向扫描形成图像，以反应各种参数的平面均匀性，尤其是晶界和位错分布，
为光电子器件及太阳能电池的结构优化和工艺改进提供参考依据。

产品用途：

通过不同激光波长在半导体中的吸收距离和微区光电转换，可以表征

光电子器件及太阳能电池微区的短路电流分布、表层缺陷、反射率等特性参数，

并通过横向扫描形成图像，以反应各种参数的平面均匀性，尤其是晶界和位错分布，

 为光电子器件及太阳能电池的结构优化和工艺改进提供参考依据。

产品指标： 

（1） 样品尺寸：Max 200×160 mm2，Min 1×1 mm2

（2） 激光波长：532 和 980nm，也可根据材料的光吸收系数而自行选配

（3） 激光光斑：50μm/100μm 可选

（4） 测试电流范围：1 μA–1 mA

（6） 扫描步长：0.05、0.1、0.2、0.5、1、2、4 mm

（7） 扫描速度：15 points/s

（8） 可进行单点或连续扫描测试