AL120 半导体晶圆搬送及检测显微镜

AL120半导体晶圆搬送及检测显微镜可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆，可以安全高效搬送薄片晶圆，非常适合于前道到后道工程的晶圆检查。

AL120半导体晶圆搬送及检测显微镜适应范围广、搭配灵活
 

　　对应多种尺寸组合
 

　　我们推出了200 mm型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(对应小于150 mm的晶圆)的3种型号。除此以外，您还可以根据检查模式，选用微观检查型号"L型"或微观•宏观检查兼用型号"LMB型"。
 

晶圆尺寸•厚度对应表
 

　　薄片检查
 

　　对应薄片制造厂家的需求，AL120-LMB-90搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的极薄晶圆。
 

　　高度实用性
 

　　进一步优化的宏观检查
 

背面宏观360゜旋转
 

　　宏观检查手臂可以360゜旋转，更为容易发现伤痕和微尘。
 

　　利用360゜旋转功能，*可以目视检查整个晶圆(包括边缘)。此外，在表面宏观检查中，使用操纵杆可随意将晶圆大倾斜30゜进行观察。
 

　　操作便捷
 

　　为了满足各种常规检查的要求，AL120可以登记多达10个检查程序。使用这一功能可以记录特定的卡盒、晶圆和传输速度。快速菜单选择按钮则可以让操作员立刻切换不同程序。
 

　　晶圆搬送机的菜单设置和设置参数都会在新型的LCD显示器上显示。 使用RECALL按钮可以显示检查时登记的有缺陷的对应SLOT，便于操作者再次确认。
 

　　AL120半导体晶圆搬送及检测显微镜使用非接触光学定位、查找和对齐缺口/平面，可以减少晶圆和设备之间的接触，提高晶圆的清洁度。
 

　　高度可靠性
 

　　优先考虑晶圆和操作者的安全
 

　　为了能够安全的安装晶圆，采用了在装置正面放置片盒的设计。
 

　　在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测，同时，在环境保护方面遵守了RoHS指令。
 

　　坚固、耐用的显微镜底座
 

　　AL120搭载奥林巴斯MX专业晶圆检查显微镜系列，通过各种观测方法，包括：明视场、暗视场、微分干涉(DIC)、近IR(近红外线)和DUV(深紫外线)，实现了的图像分辨率和清晰度。电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定，可以优化各物镜的照明和对比度。如果特别订制，AL120还可以应用到其他型号的显微镜上。
 

　　人机工程学设计的载物台
 

　　手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率，标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。
 

　　可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台，进一步将检查过程自动化。只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置。