SEM-Base® TMC SEM-Base VI 主动压电振动消除产品

TMC SEM-Base VI 主动压电振动消除产品
SEM-Base VI是TMC STACIS主动压电振动 xiao,除 产品系列的新一代产品。SEM Base VI设计用于承载所有商业扫描电子显微镜（SEMs）、多数聚焦离子束显微镜（FIB）及小型双光束设备。

TMC SEM-Base VI 主动压电振动消除产品

SEM-Base VI采用 du,特 串联结构，振动传感器测量的是地面振动，不是负载振动。这样就确保了负载谐振将不会限制平台的振动隔离或者引起不稳定性。振动传感器采用低频惯性速度传感器，在测量亚Hz振动时具有 zui,大 的敏感度。加上TMC du,特 的压电致动技术，SEM-Base VI即使在振动情况已经很好的地面上 也可以实现 chao,高 水平的振动 xiao,除。

优势

硬式装载技术 SEM-Base VI兼容 SEM 内部预装的任何隔振系统， 从 0.6Hz 开始主动 qiang,力 消减地面低频振动。

主动惯性振动 xiao,除 SEM-Base VI采用高灵敏度的低频惯性速度传感器，即使在安静的地面上也可以达到高水平的振动衰减。

串行设计与压电技术 du,特串行设计加上高强度压电技术，SEM-Base VI不但达到了宽至 0.6Hz-150Hz的主动带宽，更实现了 wu,与,lun,比 的惯性主动振动 xiao,除，2Hz以上的振动衰减可达90%以上。

wan,全 集成式的单平台设计 SEM-Base Vi设计与制造的集成化，将安装平台的工作简化到了 ji,致，简单的定位与设置之后即可正常工作。

TMC SEM-Base VI 主动压电振动消除产品

特色

● STACIS技术

● 主动惯性振动 xiao,除 系统

● 895×1124×160 mm（35.25×44.25×6.3 in.）

● 适合绝大多数商业SEMs

● 负载能力：408-1134 kg（900-2500 lb.） 

● 隔振效率1Hz：40-70%

   隔振效率2Hz：90%

   隔振效率>3Hz：90-98%

● 6个主动自由度

● 安装容易，调谐简单

● 兼容所有设备内置的振动隔离系统

● 电源：

   100-240VAC，50/60Hz，<600W

● 是否需要空气：非气浮系统

● CE与RoHS认证

● wan,全 集成式的单平台设计

● 可安装脚轮，轻松便携移动，无需搬运

● 兼容SEM-Lift系统