STACIS III TMC STACIS® III 压电主动隔振光学平台

TMC STACIS® III 压电主动隔振光学平台
STACIS®III是 zui,* 的主动振动隔离系统。采用*的惯性振动传感器、复杂的控制算法和 zui,* 的压电致动器，STACIS通过连续测量地板活动，扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时振动隔离。

TMC STACIS® III 压电主动隔振光学平台

zui,初被设计用于*半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备振动隔离， STACIS现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案，它广泛应用于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备和材料研究。

Stacis III包括一个新型改进的数字控制器—DC-2020。它搭载 zui,新 gao,效 的双核处理器，前后面板上都配备以太网和U,S,B串口，新型*控制系统为用户提供了一个现代的、易于使用的图形用户界面(GUI)。

Stacis III在世界各地有数百个成功安装案例，对于大部分振动敏感仪器来说都是 zui,理想 的振动消除系统。

TMC STACIS® III 压电主动隔振光学平台

特点&优点

1、从0.6Hz开始隔离振动，1Hz时可隔振40%到70%

2、2Hz时在高度、水平和垂直三个方向上提供超过90%的振动隔离

3、减少工厂地板铺设成本，使设备能够安装在较强振动环境中

4、主动带宽：0.6Hz到150Hz

5、设备制造商竭力推荐

6、六自由度活动硬性底座设计，无气浮支撑

7、鲁棒控制系统，不需要预先调适

8、可与设备内置隔振系统兼容

9、当环境振动水平随时间增加时，确保设备满足自身的振动标准

10、利用TMC Stacis®技术通过压电陶 瓷致动器来消除振动

11、带有基于计算机的图形用户界面 (GUI)的数字控制器

12、在旧的、有噪音的地板上也可以 安装使用

13、兼容各种地板的高度和类型

14、TMC关注Stacis III隔振性能，提供 全面的售后服务

15、通过ROHS认证

性能特性