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OptiGauge-SLS 真空镀膜测厚仪激光测厚仪在线测厚仪

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Lumetrics 厚度测量系统的测量原理是采用了短相干光源的迈克尔逊干涉仪。Lumetrics 厚度测量系统优势
1.在线与离线同时测量;
2.不仅可以测量总厚度,还可以单独测量每层厚度,zui多可以测试20层
3.测试速度快,稳定性好。

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Lumetrics 厚度测量系统的测量原理是采用了短相干光源的迈克尔逊干涉仪。

应用领域:
1.光电子行业:
(1) 透镜中心厚及胶合间隙测量
(2) 单件元件厚度控制(特别适用于红外材料,测量厚度控制平行度)
(3) 平板玻璃厚度测试:浮法玻璃、液晶平板
2.薄膜行业:测量塑料薄膜的厚
3.医疗行业:测量滴液管、塑料管壁厚、直径等

Lumetrics 厚度测量系统优势

1.在线与离线同时测量;

2.不仅可以测量总厚度,还可以单独测量每层厚度,zui多可以测试20层

3.测试速度快,稳定性好。

OptiGauge SLS™

OptiGauge MLS™

OptiGauge EMS™

测量范围

12μm to 5mm

12µm to 12mm

12µm to 50mm

zui多可测量层数

1

20

20

精度

±0.1μm

±0.1µm

±0.1µm

重复精度

0.1μm 1σ

0.1µm 1σ

0.1µm 1σ

测量时间

50Hz

50Hz Standard, 100Hz and 200Hz optional

20Hz

光源

1310nm SLED – 45 nm wide

1310nm SLED – 45 nm wide

1310nm SLED – 45 nm wide

测量头工作距离

25mm and 50m

25mm and 50mm

50mm & 15

光纤长度

3M standard, up to 1000M Maximum

3M standard, up to 1000M Maximum

3M standard, up to 1000M Maximum

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