Filmetrics F64-C 光学膜厚测量仪依靠 F64 *的光谱反射系统，可以很简单快速地获得产品薄膜厚度及 n 和 k 值的分布图。利用图形识别软件控制高精度移动平台，自动寻找测试点，并以每个点约 1.5 秒快速生成厚度。机动化的转台能够多配置四个物镜，方便选择多个不同尺寸的光斑。 针对不同的晶圆尺寸，盒对盒系统可以很容易的自动转换，匹配当前盒子的尺寸。
膜厚测量测试仪 光学膜厚测量仪 Filmetrics F64-C
晶片生产中自动化测量薄膜厚度分布图案系统
依靠 F64 *的光谱反射系统，可以很简单快速地获得产品薄膜厚度及 n 和 k 值的分布图。利用图形识别软件控制高精度移动平台，自动寻找测试点，并以每个点约 1.5 秒快速生成厚度。机动化的转台能够多配置四个物镜，方便选择多个不同尺寸的光斑。 针对不同的晶圆尺寸，盒对盒系统可以很容易的自动转换，匹配当前盒子的尺寸。
可测样品膜层
基本上所有光滑的、透明半透明的或低吸收系数的膜层都可以测量。可测样品包括：
氧化硅 氮化硅 类金刚石 DLC
光刻胶 聚合物 聚亚酰胺
多晶硅 非晶硅 硅
|
|
|
|
|
|
|
*您想获取产品的资料：
个人信息：
