MFC 2100 Series 热式气体质量流量控制独立模块

热式气体质量流量控制独立模块
适用于OEM模块集成的结构极其紧凑的高性能气体质量流量计和控制器；
从用来测量单一气体的结构极其紧凑的气体质量流量计和控制器，到用来测量和控制多种气体高度集成的定制阀组，Axetris全新的MFM / MFC 2000系列产品都能满足这些需求。

热式气体质量流量控制独立模块
适用于OEM模块集成的结构极其紧凑的高性能气体质量流量计和控制器；
    从用来测量单一气体的结构极其紧凑的气体质量流量计和控制器，到用来测量和控制多种气体高度集成的定制阀组，Axetris全新的MFM / MFC 2000系列产品都能满足这些需求。

技术优点：

• 基于MEMS技术

• 极其紧凑的尺寸

• 高精度

• 快速响应时间

• 多种气体/多量程

• 模块化

• 的*稳定性

主要应用：

• 分析仪器

• 气相色谱仪

• 泄漏检测

• 单一或者多种气体的计量和控制

• 标定和质量控制

• 薄膜工艺控制