HP100-SE 标准型烤胶机

标准型烤胶机 型号：HP100-SE

高温度可选），可实现控温在±0.5℃以内，温度分辨率在0.1℃，表面温度均匀性小于1%的精确控温操作。HP100-SE且带有接近模式

标准型烤胶机  

 高温度可选），可实现控温在±0.5℃以内，温度分辨率在0.1℃，表面温度均匀性小于1%的精确控温操作。HP100-SE且带有接近模式烤胶的顶升功能，方便精确计时，方便上下片拿取，顶升功能能够进行5步编程，可存贮100组顶升烤胶程序。  

产品性能参数： 
　　 设置温度　　　　 300℃ 
　　温度分辨率　　　　 　0.1℃ 
　  设置时间　　　 　100,000S 
　　时间分辨率　　　　 　0.1S 
　　顶升调节距离　　　 　30mm 
顶升分辨率　　 0.1mm 
加热功率　　　　　 　1000W 
　　重量　　　　　　 　　25Kg 
产品特点介绍： 
　 ●　加热板面积220mm*220mm，适合8"圆晶尺寸； 
　●　阳硬质氧化铝面板或镀特氟龙耐腐蚀不粘面板； 
　●　带顶升功能，可实现接近模式加热烤胶； 
　●　程控准确计时，精确控温，顶升高度可调； 
　●　七寸全彩触摸屏操作，全不锈钢机身，经久耐用； 
　●　特殊的隔热设计和长寿命、高均匀性发热部件采用； 
　●　可编辑存贮100组，每组5步用户烤胶程序； 
　●　带热辐射保护盖，更高的烤胶均匀性。 
产品外型尺寸： 
450(D)*300(w)*295(H)

标准型烤胶机  

产品名称：匀胶显影机 产品型号：SC100-DE

匀胶显影机 型号：SC100-DE
　　SC100-DE匀胶显影机是一种既可用于精密匀胶操作，又可用于半导体显影和清洗的台面式设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。 

　　不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观；工业级别200瓦伺服电机系统，采用与track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中*的大达到50000RPM/S的旋转加速度，确保匀胶和显影的稳定性和高的可重复性。 
主要性能指标： 
主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）  
旋涂程序：多可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒  
转动速度：0-10,000rpm（更高速可选）  
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）  
马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm  
转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm  
工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-200mm（8“圆晶）  
标准配置两路喷液系统（显影液和去离子水） 



产品特性优点： 
主机在SC100-SE匀胶机上升级，增加耐腐蚀高分子材料防溅式罩盖 

全程序编辑功能，更方便的智能化操作，更好的显影/清洗效果  
可实现多独立四路喷液用于显影/清洗工作，或进行氮气吹干  
控制器可实现程序自动控制喷液或进行手动操作，使用更加方便 

显影系统可进行喷雾式、柱流式多种选择，视要求进行配置  
提供客户定制化的显影系统配置和工装设计  
高可靠性和重复性，高转速精度和更高转速可选  
可添加去边胶和背胶清洗功能