高精密主动隔振光学平台

DVIA-MO系列高精密主动隔振光学平台可以在低频范围（0.5-10Hz）提供非常隔振性能，它可以应用于很多对振动要求非常高，甚至具有挑战的领域，比如高分辨率的光谱仪，高分辨率电子显微镜和精密纳米科学研究和制备等。

DVIA-MO 系列高精密主动隔振光学平台是由台面和主动隔振支撑两部分组成。

台面采用真蜂窝三层夹心式结构，上台面为热形变系数很小的430 系列高导磁镍合不锈钢，台面按照25mmX25mm 孔距均布M6 螺纹孔， 方便安装仪器，每个螺纹孔下方具有独立的隔离杯，方便清洁。中间是真蜂窝支撑结构，是把0.25 毫米厚度的钢板加工成蜂巢的结构，增加了台面结构的密度，减小体积，采用先进的粘合工艺，坚固耐用。台面的底部和侧板用碳钢作为主体材料，具有非常优秀的动态和静态的刚性。

主动隔振支撑部分主要包括了被动隔振机构和主动隔振器DVIA-M， 每个支撑里面一般会有4 个DVIA-M 系列主动隔振器和一台主控箱。主动隔振器包含了采集信号的传感器和消除振动的驱动器，主要消除0.5- 10Hz 的外部振动, 被动隔振系统部分同时承担着支撑负载和隔绝高频率振动的作用。

这个系列的平台可以在低频范围（0.5-10Hz）提供非常隔振性能，它可以应用于很多对振动要求非常高，甚至具有挑战的领域，比如高分辨率的光谱仪，高分辨率电子显微镜和精密纳米科学研究和制备等。

DVIA-MO系列高精密主动隔振光学平台主动隔振平台技术指标：

 固有频率：0.5-100Hz

 自动平衡，响应时间短，平衡速度快

 钢蜂巢内核：钢制蜂窝芯，钢板厚度0.25mm,每个蜂巢面积3.2cm²

 表面平整度：±0.1mm /600 mm²

 台面：4.0mm厚度430 系列高导磁镍合不锈钢

 底面：4.0mm厚碳钢，表面氧化处理

 边墙板：2.0mm厚碳钢，包裹高阻尼聚乙烯材料

 孔径： M6 (英制螺孔可选)

 孔距：25mmX25mm(英制孔距可选)，zui外边孔距平台边缘37.5mm

 螺孔密封：每个螺纹孔下方设有柱形隔离杯密封，方便清洁

 阻尼隔振方式：宽带阻尼

DVIA-MO系列高精密主动隔振光学平台特点：

 具有非常优秀的隔振性能，特别是在低频0.5Hz- 10Hz达到90%以上的隔振效率；

 采用惯性传感器，可以检测出六个自由度的振动，并做补偿；

 采用真蜂窝三层夹心式结构台面，厚度可选100/200/300mm；

 进口精密主动隔振光学平台；

 隔振性能优异，广泛应用于扫描探针显微镜，原子力显微镜，扫面隧道显微镜，激光干涉仪 ，半导体检测设备，三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等。

DVIA-MO系列高精密主动隔振光学平台细节说明：

光学平台隔振性能参数：

DVIA-M系列主动隔振器参数表：