URE-2000A URE-2000A型光刻机

中国光电URE-2000A型光刻机 曝光面积：150mm×150mm
◆ 分辨力：0.8-1μm（胶厚2μm的正胶）
◆ 对准精度：0.6μm
◆ 掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm
◆ 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
◆ 样片尺寸：直径15mm-- 150mm；厚度0.1mm--8mm
◆ 照明均匀性： 3.5%（100mm 范围）； 5%（ 150mm范围）
◆ 掩模相对于

产品名称：

中国光电URE-2000A型光刻机

     URE-2000A型光刻机

URE-2000A型光刻机产品特点：

◆ 曝光面积：150mm×150mm

◆ 分辨力：0.8-1μm（胶厚2μm的正胶）

◆ 对准精度：0.6μm

◆ 掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm

◆ 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

◆ 样片尺寸：直径15mm-- 150mm；厚度0.1mm--8mm

◆ 照明均匀性： 3.5%（100mm 范围）； 5%（ 150mm范围）

◆ 掩模相对于样片运动行程：X: 5mm; Y: 5mm; : 6度

◆ zui大胶厚：500m(SU8胶，用户提供匀胶条件)

◆ 光源平行性：3.5

◆ 汞灯功率：1000W（直流）

◆ 曝光设定方式：定时（倒计时方式0.1s-999.9s任意设定）

◆ 外形尺寸:1400mm（长）1200mm(宽) 2150mm（高）

技术参数配置:

（1）曝光头

◆冷光椭球镜

◆1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)

◆XYZ汞灯调节台

◆光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1

、准直镜镜2、蝇眼透镜组（100个透镜）、i线滤光片

、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2

◆冷却风扇

◆循环水冷系统

（2）对准工件台

◆掩模样片整体运动台

◆掩模样片相对运动台

◆转动台

◆样片调平机构,自动完成

◆样片调焦机构，自动调

◆承片台4个（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）

◆掩模夹4个（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）

◆基片抽拉式上下机构

（3）对准显微镜

◆光源（配备品2只）、电源

◆双目双视场对准显微镜主体

◆目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

◆物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

（4）CCD对准系统

◆光源（配备品3只）、电源

◆成像光学系统

◆数据采集卡

◆CCD

（5）电控系统

◆汞灯触发电源(1000W直流汞灯)

◆单片机控制系统

◆控制柜桌

◆计算机系统及液晶显示器(21寸宽屏)

（6）气动系统

◆气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

◆电磁阀驱动

◆气动仪表

（7）其他附件

◆真空泵一台（无油泵）

◆空压机一台（*泵）

◆管道

（8）技术资料

◆使用维修说明书

◆显微镜使用说明书

产品名称：

中国光电URE-2000B型光刻机

          URE-2000B型光刻机

技术参数：

1．技术参数

◆曝光面积：110mm×110mm

◆分辨力：0.8μm（胶厚2μm的正胶）

◆对准精度：±1μm

◆zui大焦厚：600mm（SU8胶，用户提供检测条件）

◆曝光波长：365nm

◆光源平行度：2º

◆掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm

◆掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

◆样片尺寸：直径f15mm--f100mm(可适应非标准片或碎片)

 厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)

◆照明均匀性：±3%（f100mm范围）

◆掩模相对于样片运动行程：X:±5mm;   Y:±5mm;q:±6度

◆曝光能量密度：>18mW/cm

◆汞灯功率：1000W（直流）

◆曝光设定方式：定时（倒计时方式0.1s-999.9s任意设定）

◆外形尺寸：1400mm（长）´1200mm(宽)´1850mm（高）

配置：

（1）曝光头

◆ 冷光椭球镜

◆ 1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

◆XYZ汞灯调节台

◆光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（100个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2

◆冷却风扇

（2）对准工件台

◆掩模样片整体运动台

◆掩模样片相对运动台

◆转动台

◆样片调平机构,自动完成

◆样片自动调焦机构

◆承片台4个（Ø15mm 、2英寸、3英寸、4英寸）

 掩模夹4个（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

◆掩模抽拉式上下机构

（3）对准显微镜及CCD对准系统

◆光源、电源

◆双目双视场对准显微镜主体

◆目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

◆物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

◆CCD

◆21英寸液晶显示器

（4）电控系统

◆汞灯触发电源(1000W直流汞灯)

◆单片机控制系统

◆控制柜桌

（5）气动系统

◆气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

◆电磁阀驱动

◆气动仪表

（6）其他附件

◆真空泵一台（无油泵）

◆空压机一台（*泵）

◆管道

（7）技术资料

◆使用维修说明书

◆显微镜使用说明书