586 CT-NANO

CT-NANO是一款多功能X射线显微镜基于电子显微镜技术并使用X射线源。

CT-NANO具有纳米CT测量功能，可直接转换检测器和尺寸优化的视场，样品室内设置高精度机械手，确保检测目标的移动。适用于材料科学、半导体、石油、天然气、生命科学、工业等领域。

它提供的体素尺寸范围为30nm至10μm，几何放大倍率高达50nm（FWHM），光子能量为30keV。EDS检测器在样品的XRF信号和CT-NANO的重建体积之间提供额外的相关性。