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 高精度三维移动平台_国产1、参数：1）规格参数：尺寸: 长1000 mm ；深 900 mm； 高 800 mm 2）扫查范围: x direction 700 mm； y direction 700 mm z ；direction 750 mm 3）速度: maximal 7mm/s （100%） ；minimal 0,1 mm/s （1%） 4）定位重复性: x direction 10 µm ；y direction 10 µm ；z direction 10 µm 5）角度扫查范围: Angle Scan range: 0-180 ° 6）满足标准: Standards: IEC 61847 、IEC 62127-1 IEC 60601-2-622、参考型号、公司： ATP-103、配件：出厂配件，说明书、合格证等4：具有资质的公司出具的校准证书