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在I(V)光谱法(或电流成像隧道光谱法,CITS)中,在固定的I o和V o下获取正常的地形图像。在图像反馈环路的每个点处中断,并将偏置电压设置为一系列电压V i,并记录隧穿电流I i。然后,电压返回到V o,反馈环路重新打开。每个IV谱图都可以在几毫秒内获得,因此位置没有明显的漂移。该过程除了地形图图像z(x,y)|之外,还在每个电压V i上生成完整的电流图像I i(x,y)|。V o I o。
CITS数据可用于计算电流差图像DI V i V j(x,y),其中V i和V j包围特定的表面状态,从而产生原子分辨的表面状态的真实空间图像。例如,可以在UHV中使用此技术来对填充的原子状态或悬空键状态进行成像,以进行硅重建。
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