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简介光学特性从反射和干涉影像中显现出来。膜厚测量仪允许用户从10nm到250μm分析光学图层厚度。用户可以观察到一副图层厚度分辨率达到0.1nm的单图。根据用户...
薄膜厚度DRM帮助客户确定膜层的厚度以及应用抗蚀膜后的材料溶解速率这都是控制薄膜生产工艺的重要参数。在初始化测试中,薄膜监测解决方案主要针对膜厚300nm的应用...
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