当前位置:上海载德半导体技术有限公司>>产品展示>>Rame Hart接触角测量仪>>反应离子刻蚀机RIE
RIE是干蚀刻的一种,这种蚀刻的原理是,当在平板电极之间施加10~100MHZ的高频电压(RF,radio frequency)时会产生数百微米厚的离子层(io...
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