通常利用泊肃叶定律来进行内部补偿层流(ICL)计算，首先要有一个特殊的管路通道，我们称之为层流元件(LFE)，LFE将迫使气体分子沿着管道平行通过，几乎消除湍流后在层流区内测量两端的压力差。根据泊肃叶定律，流量与压差的关系如下：
 

　　Q = (P1 – P2)π r4 / 8ηL
 

　　Q = 体积流量
 

　　P1 = 入口静压
 

　　P2 = 出口静压
 

　　r = 管道半径
 

　　η = 流体粘度
 

　　L = 管道长度
 

　　由于π、 r 和 L都是常数，则上述公式可被简化为：
 

　　Q = K(Δ P/η)
 

　　在这个公式中，K是由管道几何形状决定的常数，因此得出一个较简易的体积流量、压力差与粘度之间的线性关系。
 

　　气体温度变化会影响其粘度，因此需要测量温度来决定η，绝大多数压差式设备都是通过人工查表(已知温度下的气体粘度表)来实现这一步骤，而采用内部补偿层流的流量计&流量控制器则是通过一个独立的温度传感器和一个微处理器来实现。
 

　　现在我们只是知道了体积流量，对于采用内部补偿测量层流原理的设备，还需要进行额外的测量来求的气体质量流量，质量流量与体积流量的关系如下：
 

　　质量 = 体积 × 密度修正系数
 

　　根据理想气体定律，气体密度受其温度和压力影响。密度与温度的关系如下：
 

　　ρa / ρs = Ts / Ta
 

　　ρa = 实际气体密度
 

　　Ta = 实际温度
 

　　ρs = 标准工况下气体密度
 

　　Ts = 标准工况下温度
 

　　°K = °C +273.15
 

　　密度与压力的关系如下：
 

　　ρa / ρs = Pa / Ps
 

　　ρa = 实际气体密度
 

　　Pa = 实际压力
 

　　ρs = 标准工况下气体密度
 

　　Ps = 标准工况下压力
 

　　由此可见，要求得质量流量，必须考虑两个修正因素：温度对密度的影响和绝压对密度的影响，可用下面公式表示：
 

　　M = Q(Ts / Ta)( Pa / Ps)
 

　　内部补偿层流设备中，其层流区内还有一独立的绝压传感器，该绝压信号与温度信号都将被传送至微处理器，经过计算得出质量流量。
 

　　以上计算需要参考标准工况(STP)下的温度值Ts和压力值Ps。标准工况(STP)通常是指位于海平面上，但没有单一标准，比如常用的标准工况有下面几种：
 

　　0 °C、14.696 PSIA
 

　　25 °C、14.696 PSIA
 

　　0 °C、760 mmHG
 

　　值得注意的是，质量的单位通常为克、千克等，而质量流量的单位则是SLPM(每分钟标准升) 、SCCM(每分钟标准毫升)或SCFH(每小时标准立方英尺)。只要知道设备标定的标准工况及被测气体在标准工况下的密度，便可计算得出同过的气体流量为每分钟多少克或是每小时多少千克。举个例子：
 

　　已知：
 

　　气体 = 氦气
 

　　M = 250 SCCM
 

　　STP = 25 °C、14.696 PSIA
 

　　气体密度 = 0.166 g/L
 

　　实际质量流量 = M × STP气体密度
 

　　实际质量流量 = 250 SCCM × (1L / 1000cm3) × 0.166 g/L
 

　　实际质量流量 = 0.0409 g/min (氦气)