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简介:产品测试原理类似于干涉显微镜,焦平面扫过样品表面,与焦平面相交的点产生干涉条纹,计算机记录干涉条纹出现的时间和位置还原出样品表面形貌测试微小台阶高度。
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简介:台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器,接触式台阶仪是探针划过被测样品表面随表面高低起伏上下运动,位移传感器记录其相对零点偏移范围,计算出真实台阶高度。
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简介:产品测试原理类似于干涉显微镜,焦平面扫过样品表面,与焦平面相交的点产生干涉条纹,计算机记录干涉条纹出现的时间和位置还原出样品表面形貌测试微小台阶高度。
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