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IoN 40 PVA TePla 等离子体清洗机

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PVA TePla 等离子体清洗机是为实验室和生产领域设计的全功能的等离子表面处理设备。该设备外观简洁、高度集成化,可应用在医疗诊断、光学、电子等领域对各种材料的表面进行清洁、化学修饰或涂层沉积。PVA TePla公司的高品质、高性价比、操作简单的等离子清洗机为各种不同的应用领域提供了的创新解决方案。

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进口PVA TePla 等离子体清洗机

    德国PVA TePla射频等离子体清洗机,腔体采用模块化设计,可以根据产品需要更换不同腔体,满足客户需要。

*液态单体功能,除常规的工艺气体外可以接入液态单体作为工艺源料。

规格参数:

铝制/石英腔体,模块化设计,可根据产品需要,更换滚筒、粉末滚筒、垂直极板、平行极板、料盒极板、水冷极板等多种腔体结构。

13.56MHz风冷射频电源(0-300w/0-600w/0-1250任意可调电源)

自动功率匹配

zui多6路工艺气体

3路MFC,

可选配液态单体操作装置

可选配法拉第网

压力控制装置

外形尺寸:775 x 723 x 781 mm/737×1980×1118 mm/635×1120×1473 mm



应用领域:


去除光刻胶photo-resist stripping
表面精密清洁surface precision cleaning
表面活化 surface modification
提高表面粘合性 bond strength enhancements
改变表面亲水性/疏水性 hydrophilic/hydrophobic
分子接枝 molecular grafting
涂层 plasma deposited coatings


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