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等离子刻蚀机的结构

2022年05月17日 11:27人气：838

　　感应耦合等离子体刻蚀法(Inductively Coupled Plasma Etch，简称ICPE)是化学过程和物理过程共同作用的结果。它的基本原理是在真空低气压下，ICP 射频电源产生的射频输出到环形耦合线圈，以一定比例的混合刻蚀气体经耦合辉光放电，产生高密度的等离子体，在下电极的RF 射频作用下，这些等离子体对基片表面进行轰击，基片图形区域的半导体材料的化学键被打断，与刻蚀气体生成挥发性物质，以气体形式脱离基片，从真空管路被抽走。

　　等离子刻蚀机主要包括预真空室、刻蚀腔、供气系统和真空系统四部分。

　　1、预真空室

　　预真空室的作用是确保刻蚀腔内维持在设定的真空度，不受外界环境(如：粉尘、水汽)的影响，将危险性气体与洁净厂房隔离开来。它由盖板、机械手、传动机构、隔离门等组成。

　　2、刻蚀腔体

　　刻蚀腔体是ICP 刻蚀设备的核心结构，它对刻蚀速率、刻蚀的垂直度以及粗糙度都有直接的影响。刻蚀腔的主要组成有：上电极、ICP 射频单元、RF 射频单元、下电极系统、控温系统等组成。

　　3、供气系统

　　供气系统是向刻蚀腔体输送各种刻蚀气体，通过压力控制器(PC)和质量流量控制器(MFC)精准的控制气体的流速和流量。气体供应系统由气源瓶、气体输送管道、控制系统、混合单元等组成。

　　4、真空系统

　　真空系统有两套，分别用于预真空室和刻蚀腔体。预真空室由机械泵单独抽真空，只有在预真空室真空度达到设定值时，才能打开隔离门，进行传送片。刻蚀腔体的真空由机械泵和分子泵共同提供，刻蚀腔体反应生成的气体也由真空系统排空。

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