TS2500-RF 全自动射频探针台

TS2500-RF-款专用于射频生产测试的全自动探头系统。MPI公司通过在不到两年的时间内推出十几种新产品，迅速成为我们服务市场的创新。MPI的产品创新是专用于射频（RF）生产测试的全自动探针系统。该系统与所有MPI系统附件兼容，专为满足生产级高级RF设备测试的需求而设计。

产品描述

1. 适用于多种量产型晶圆量测应用

可同时进行DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV量测

射频量测-至高 67 GHz

2. 量产可靠性

专为24/7 稳定可靠的量产测试而设计

3. 工效学设计及弹性选配

简易便利的前门单晶圆上片设计

大面积工作台设计，可乘载至多12x DC或4x DC+4x RF 微定位器、或4.5”标准探针卡夹具

双晶圆拾取器和内建的预对准功能，有效提升产出

另有多种晶圆载物台和配件可做选择

标准配备有偏心轴晶圆对准镜头

另有向上影像镜头可选配，协助探针-待测物对准

可选配薄晶圆处理选项

特点与优势

1. 薄晶圆处理 Thin wafer handing

S2500-RF卡盘和晶圆提升销的设计可以安全地处理厚度低至50微米的晶圆，从而可以测试具有挑战性的薄III-Vs化合物晶圆

射频卡盘包括两个由特殊陶瓷材料构成的辅助卡盘组成，用于精确的射频校准。辅助卡盘和热卡盘还可用于保持探针清洁作用

2. 高吞吐量 High throughput

自动化包括双端部执行器和双晶圆盒式磁带支架，适用于150mm或200mm晶圆，可提供高效的晶圆交换和更高的测试速度。TS2500-RF的速度可达10片/秒（取决于最终系统配置），这使其成为分立式射频器件和集成电路（IC）生产电气测试的理想选择

3. 校准系统 Advanced alignment

*的校准功能，如离轴和卡盘安装的上部相机，使TS2500-RF成为在复杂RF测量配置中进行测试的理想平台。 MPI Photonics自动化部门数十年的经验使这些功能更加可靠

4. 完整的测试方案 Complete test solution

TS2500-RF可配置MPI*的RF附件，如RF MicroPositioners，RF电缆，校准基板和TITANRF探头，以确保更加精准的RF测量

随着VNA与DUT的集成，MPI与Rohde＆Schwarz的合作以及新的*校准技术，使TS2500-RF成为一个能够处理RE生产测试复杂性的全面测量解决方案