NX20 高精度全自动大面积原子力显微镜

作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对大型样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20，这款精密的大尺寸样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬，ParkNX20拥有业界便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。

强大全面的分析能力，Park NX20具备无二的功能，可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。的精密度为您带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。与此同时，真正非接触扫描模式让探针更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。

的产品特点

1）Smartscan智能扫描模式，“1，2，3”点击即可实现成像

2）Pinpoint Nanomechanical力控出图模式，更优越的力学形貌成像及各种电学测试

3）强大的内置集成软件系统，自带LFM/液相AFM/MFM/EFM/KPFM/Force Curve软件模式

技术参数

低噪声XYZ位置传感器

高速Z轴扫描器，扫描范围15μm

自动多样点扫描，集成编码器的XY自动载样台（编码器可用于所有自动样品载台，并可保证更高的重复定位精度，从而可更

精确地控制样品测量位置。XY马达运动工作时分辨率为1 µm，重复率为2 µm。Z马达运动的分辨率为0.1 µm，重复率为1 µm）

用于高级扫描模式易插拔扩展槽。

200mm样品台（可选择300mm样品台）

选项/模式

应用

用于失效分析和大型样品研究的的纳米计算工具，满足各个领域的研究

缺陷检查成像和分析

高分辨率电子扫描模式

对样品合基片进行表面粗糙度测量

样品侧壁三维结构的测量