牛津仪器电子背散射衍射（EBSD）探测器C-Nano是一款适用于各种材料和应用的EBSD探测器。利用专门定制的CMOS传感器，C-Nano采集速度可达400点/秒，并能得到理想的312x256像素分辨率的花样：这比同类型的基于CCD的探测器采集速度快3倍，得到至少4倍像素的花样。C-Nano值得让您信任的性能，使其即使在更具挑战性的材料上，也能提供出色数据质量。

C-Nano的光学设计确保了*的灵敏度和子像素失真级别，使其成为需要优良、高清花样的精细的应变分析的理想探测器。C-Nano的灵敏度确保在使用非常低的束流（在3nA以下）时也能达到的分析速度，从而能够对电子束敏感材料和纳米晶材料进行详细和成功的分析。

C-Nano还得益于整个牛津仪器CMOS探测器系列的新设计功能，包括可避免潜在、昂贵代价的碰撞发生的接近传感器。C-Nano是一个您可以一直信赖使用的探测器。

牛津仪器电子背散射衍射（EBSD）探测器C-Nano特点

C-Nano探测器是高性能CMOS技术的入门选项：

保证在3nA束流条件下，实现400pps的标定速度
速度下采集312x256像素的花样分辨率——是同等速度下高分辨CCD探测器的4倍
EBSD百万像素全分辨率花样(1244x1024像素)——高分辨率EBSD应变分析的理想选择
低失真光学器件, 确保角度精度优于0.05°
优化的高灵敏度荧光屏, 确保低剂量和低束流能量下的高质量的花样——增大空间分辨率
即使在速度下也能实现无缝的EDS集成
波纹管SEM接口，保持SEM真空完整性
*的接近传感器——在可能发生的碰撞发生之前自动将探测器移动到安全位置
简单直观的探测器设置，确保每次都能获得满意效果
五个集成的前置探测器, 提供全彩色通道衬度图像和原子序数衬度图像

电子背散射衍射（EBSD）是一种基于扫描电子显微镜（SEM)），提供样品显微结构晶体学信息的技术。在EBSD中，电子束与倾斜的晶态样品相互作用，形成衍射花样。衍射花样可以通过荧光屏探测到，它具有所产生处样品的晶体结构和取向特征。因此，衍射花样可用来确定晶体结构及取向、区分晶体上不同的相、表征晶界、和提供有关局部结晶完整性的信息。

EBSD已成为SEM中的一个出色的附件，常用来提供晶体学信息。EBSD广泛地应用于许多不同的领域，以帮助材料表征，如下表所示。

AZtec EBSD系统结合了EBSD（ Symmetry ）的速度和灵敏度以及 AZtecHKL软件出色的分析性能，为电子背散射衍射（EBSD）和透射菊池衍射（TKD）分析提供了一种功能强大、用途广泛的工具。

行业	材料	典型的EBSD测量
金属研究和加工	金属，合金	晶粒尺寸
航天	金属间化合物	晶界表征
汽车	夹杂物/沉淀物/第二相	体织构
核能	陶瓷	局部织构
微电子	薄膜	CSL晶界表征
地球科学	太阳能电池	再结晶或形变率
科研领域	地质	亚结构分析
	半导体	相鉴定
	超导体	相分数和相分布
	冰	相变
	金属和陶瓷复合材料	断口分析
	骨头，牙齿	晶粒和相间的取向与取向差关系