108镀金镀碳联用仪

108镀金镀碳联用仪特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜，同时又用于扫描电镜能谱分析。 分类： 电镜制样设备, 镀膜仪 标签： 离子溅射仪, 镀碳仪, 镀膜仪 Brand:Ted Pella

描述

特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜，同时又用于扫描电镜能谱分析。

一、主要特性

• 通过1个真空泵相连，在既可以保证良好镀金镀碳效果的同时，又不会产生碳和金属的任何交叉污染。
• 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
• 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和的镀膜效果。
• 可使用多种金属靶材：Pt， Au/Pd，Au，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。
• 通过使用高分辨膜厚控制仪（选件）测量所镀膜厚。
• *的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚20nm左右进行多次蒸发，无须切削或调整碳棒形状。
• 使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。
• 使用新型的蒸发装置：电流和电压通过磁控头的传感线监控，蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低，碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。
• 自动模式下，蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下，*的设计允许以脉冲或连续的方式操作，并通过旋钮控制输出电压。

二、技术参数