108C Auto/SE镀碳仪108carbon SE镀碳仪基于108c镀碳仪。它包含108c的所有优点,但有更大的Ø150x165mm样品室,可以放置更大或更多的样品。108C SE是用于扫描电镜能谱分析的的镀碳仪之一。 分类: 电镜制样设备, 镀膜仪 标签: 镀碳仪, 镀膜仪 Brand:Ted Pella
描述
108carbon SE镀碳仪基于108c镀碳仪。它包含108c的所有优点,但有更大的Ø150x165mm样品室,可以放置更大或更多的样品。108C Auto/SE是用于扫描电镜能谱分析的的镀碳仪之一。
主要特性
技术参数 | |
样品室大小 | 直径150 x 165mm 高 |
蒸发源 | Bradley型 (6.15mm rods),高强度不锈钢结构 |
蒸发控制 | 基于微处理器的反馈回路控制,能够进行远程电流/电压感应,基于真空水平变量的安全互锁功能,电流180A,提供过流保护 |
样品台 | 可装置12个样品座,高度在30mm范围内可调 |
模拟计量 | 真空: atmos – 0.001mb; 电流: 0-200A |
厚度监控 | MTM-10 高分辨膜厚监控仪(选件) |
控制方法 | 自动蒸发控制,使用程序设定的电压和时间 以脉冲或连续方式进行*手动控制 数字定时器(0-10s) 数字电压设置(0.1 to 6.0V) |
真空系统 | |
真空泵 | 2级直连式高速真空泵 |
抽气速率 | 真空度到 0.1mb所需时间30秒. |
极限真空 | 5 x 10-3mba |
桌上系统 | 真空泵可置于抗震台上,全金属集成耦合系统 |
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