日本electron台式快速涂布机SC-701AT

日本electron台式快速涂布机SC-701AT
排气→涂层（蚀刻）→全自动，直到进入大气
尽管是紧凑型，但仍可以进行膜厚控制（简单型）
全自动溅射设备，操作简便，重现性高
配备涂层/蚀刻模式

日本electron台式快速涂布机SC-701AT

日本electron台式快速涂布机SC-701AT

日本electron台式快速涂布机SC-701AT

特征 排气→涂层（蚀刻）→全自动，直到进入大气 尽管是紧凑型，但仍可以进行膜厚控制（简单型） 全自动溅射设备，操作简便，重现性高 配备涂层/蚀刻模式   应用/结果示例 各种设备的电极膜附件 用于制造反射薄膜等的应用   基本规格 阴极 φ2英寸/ 2极电极 溅射靶 包含金靶 蚀刻目标 包括Al目标 膜厚设定方法 预设方法/带膜厚监视器的数字显示 气体导入机制 针阀 真空泵 直连式旋转泵：20l / min（带自动泄漏） 排气操作 自动的 箱体尺寸 内径φ120mm x D120 mm（SUS制） 样品交换方法 前门开合式 尺寸（宽/深/高） 主体：225/420 / 320mm  RP：300/160 / 200mm 重量 身体：15公斤 RP：9公斤