飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)

飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)

技术参数

1.空间分辨率：使用25千伏Ga脉冲离子束，使用PHI提供的监测结构，空间分辨率*120 nm
2.质量精确度: 在小于m/z = 100情况下，*2 mamu，在大于m/z = 100，<10 ppm
3.传输率: 40%的原子，90%的分子，数值由离子光学模拟计算得出。

主要特点

1.标准配置In,Ga离子枪，还可以选配Cs/O离子源和Au离子源
2.高灵敏度，高成像清晰度，无阴影效应
3.动态范围宽