飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)
技术参数
1.空间分辨率:使用25千伏Ga脉冲离子束,使用PHI提供的监测结构,空间分辨率*120 nm
2.质量精确度: 在小于m/z = 100情况下,*2 mamu,在大于m/z = 100,<10 ppm
3.传输率: 40%的原子,90%的分子,数值由离子光学模拟计算得出。
主要特点
1.标准配置In,Ga离子枪,还可以选配Cs/O离子源和Au离子源
2.高灵敏度,高成像清晰度,无阴影效应
3.动态范围宽
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