MicroXAM-800 MicroXAM800 白光干涉仪

MicroXAM-800是用于3D表面形貌和粗糙度测量的非接触式的光学轮廓仪。MicroXAM-800是一款基于白光干涉仪的光学轮廓仪，采用相位扫描干涉技术（PSI）对纳米级特征进行测量，以及采用垂直扫描干涉技术（VSI）对亚微米至毫米级特征进行测量。MicroXAM进一步扩展了这些技术，它采用SMART Acquire为新手用户简化了程序设置，并且采用z-stitching干涉技术可以对大台阶高度进行高速测量。MicroXAM-800的程序设置简单灵活，可以进行单次扫描或多点自动测量。

MicroXAM测量技术的优势在于测量的垂直分辨率与物镜的数值孔径无关，因而能够在大视野范围内进行高分辨率测量。测量区域可以通过将多个视场拼接为同一个测量结果而进一步增加。 MicroXAM的用户界面创新而简单，适用于从研发到生产的各种工作环境。

二、 功能

主要功能

台阶高度：纳米级到毫米级的3D台阶高度

纹理：3D粗糙度和波纹度

形貌：3D翘曲和形状

边缘滚降：3D边缘轮廓测量

缺陷复检：3D缺陷表面形貌

技术特点

针对纳米级到毫米级特征的相位和垂直扫描干涉测量；

SMART Acquire简化了采集模式并采用已知的程序设置的测量范围输入；

Z-stitching干涉技术采集模式，可用于单次扫描以及编译多个纵向(z)距离很大的表面；

XY-stitching可以将大于单个视野的连续样本区域拼接成单次扫描；

使用脚本简化复杂测量和工作流程分析的创建，实现了测量位置、调平、过滤和参数计算的灵活性；

利用已知技术，从其他探针和光学轮廓仪转移算法。

技术能力

Z向分辨率：0.2nm（PSI）

RMS重复性：0.1nm

台阶重复性：0.1nm或1%台阶高度

三、应用

半导体和化合物半导体

LED：发光二极管

电力设备

MEMS：微电子机械系统

数据存储

医疗设备

精密表面

四、其他

部分用户

University Paris Sud

Lanzhou Institute of Chemical Physics

Koszalin University of Technology

Tianjin University

University of Alabama

Shanghai Jiaotong University

北京航空航天大学

南京航空航天大学

江苏大学

清华大学

福州大学