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NX-PTR NX-PTR 全自动在线检测原子力显微镜

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Park Systems的PTR系列是针对全自动工业级线上的原子力显微镜解决方案,适用于(不限于)长形条、磁头万向节组件(HGA)级滑块以及单独滑块的极尖沉降自动测量。凭借着亚纳米级精确度、高重复精度以及高通量,PTR系列是滑块厂商提高整体产量的理想测量工具,硬盘驱动滑块制造业要求工具不仅可以快速且流畅地测量极尖沉降,同时还要保证高标准的精确度。这便是Park NX-PTR大展身手的领域。在超精确的极尖沉降测量之外,自动化功能可*程度提高效率。这让NX-PTR成为硬盘驱动器滑块厂商的好的选择,兼顾佳的质量和高的产量。大多数原子力显微镜需要多次扫描才可以准确测量极尖沉降,首先是大区域参考扫描,随后小区域高分辨率扫描。


多次扫描占用大量时间,且限制了通量的提高。我们的扫描系统带来真正的平面扫描,有效地降低扫描次数。此外,True Non-Contact™模式让探针保持锋利,在延长使用寿命的同时,提供更持久的高分辨率成像效果。相应地,Park NX-PTR能够生成感兴趣区域的详细准确图像,而无需进行参考扫描,以便修正扫描器伪影



基本技术参数

电动XY平台

电动Z平台

噪音

行程可达200mm x 200mm,

2 μm重现性 0.095nm分辨率

25 mm Z行程距离

0.1μm 分辨率 小于1μm 重现性

小于 0.5 μm/s

尺寸&重量

控制箱

设备需求环境

880wx 980dx 1460h

620kg

600wx 900dx 1330h

170kg

室温10 ~40

操作18 ~24

湿度 30%~60%


主要功能

1.全自动线上,快速,精准可靠的PTR测量

2.不需要多次扫描

3.自动在线硬盘滑块测量

4.自动缺陷检测分析

5.自动激光校正,以及自动转换探针


应用

全自动化极尖沉降(PTR)测量

实现各类墙角的自动测量与分析。

实现各类缺陷的全自动测量与分析,如表面尖角


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