分享
举报
评价
ELS-F125/F100/HS50 高精度电子束曝光系统
参考价 | 面议 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 上海纳腾仪器有限公司
- 品牌
- 型号 ELS-F125/F100/HS50
- 所在地
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2020/11/4 17:54:20
- 访问次数 141
参考价 | 面议 |
ELS-F125是Elionix推出的世界上加速电压高达125KV的电子束曝光系统,其可加工线宽下限为5nm的精细图形。(以下参数基于ELS-F125)
ELS-F125具有以下优点:
l 超高书写精度
- 5 nm 线宽精度 @ 125 kV
- 1.7 nm 电子束直径&邻近效应小化 @ 125 kV
l 高通量、均匀性好
- 超大视野书写:500um视场下10 nm线宽
- 高束流下电子束直径依然很小,高通量而不影响分辨率,2 nm 电子束直径@ 1 nA
l 界面用户友好
基于Windows系统的CAD和SEM界面:
-简单易用的图案设计功能
-易于控制的电子束条件
二、主要功能
l 主要应用
纳米器件的微结构
集成光学器件,如光栅,光子晶体等
NEMS结构,复杂精细结构
光刻掩模板,压印模板
l 技术能力
三、应用
*您想获取产品的资料:
个人信息: