多种 EUV/X射线反光镜

应用实例

基板材料

典型波长

XUV（EUV） 反射镜

EUV光刻

高阶谐波应用

阿秒科学

X射线激光器

多层反射镜

Mp/Si

Ru/Si

Zr/Al

SiC/Mg

Cr/C

50电子伏至100电子伏

50电子伏至100电子伏

50电子伏至70电子伏

25电子伏至50电子伏

至300电子伏

单层反射镜

SiC

Pt

Ru

10电子伏至100电子伏

X射线反射镜

同步加速器应用

XFEL应用

内置X射线无损 检查设备

多层反射镜

W/C

W/B4C

Ru/C

Pt/C

1k电子伏至30k电子伏

单层反射镜

C

B4C

SiC

Cr

Ni

1k电子伏至30k电子伏

XUV多层反光镜

描述

基板形状：平面、凸形、凹形、抛物面、超环面、椭圆面

基板材料：石英、硅、zero dewer等

多层膜材料：Mo/Si、Ru/Si、Zr/Al、SiC/Mg、Cr/C等

基板尺寸：φ3毫米至φ300毫米 Mo/Si多层反射镜具有接近13纳米（90电子伏）波长的高反射率。NTT-AT的Mo/Si多层反射镜具有高达70％的正入射反射率。 NTT-AT的XUV反射镜的材料、膜结构和基板形状可以定制以满足用户有关中心波长和光学装置的需求。

基板形状：平面、椭圆面、抛物面、柱面、超环面

基板：石英、硅、zero dewer等

基板材料：W/B4C、W/C、Pt/C等 基板尺寸：大500毫米 NTT-AT提供K-B反射镜系统、沃尔特反射镜等

X射线多层反射镜

描述

反射率，粉红色；计算的反射率，周期长度： 2.95纳米）W/B4C多层和W/C多层膜反射镜对硬X射线应用具有高反射率。为了有效反射和聚集硬X射线，必须大限度地缩小入射角的斜角。这需要较长的反射镜长度和较小的多层膜周长。

单层反射镜

描述

基板形状：平面、椭圆面、抛物面、柱面、超环面

基板材料：石英、硅、zero dewer等

多层材料：C、B4C、SiC、Ru、NbN、Pt等

基板尺寸：大500毫米

利用全反射的单层反射镜用于波束控制、光聚合和去除XUV至X射线范围内的无需波长。 NTT-AT的单层反射镜的材料和基板形状可以定制以满足用户有关中心波长和光学装置的需求。 带钌层的椭圆面反射镜